1. 测量仪器
一般使用LCR测试仪测量陶瓷电容器的静电容量。
LCR测试仪
2. 测量原理
LCR测试仪的代表性测量方法如图所示,为自平衡电桥法。其原理如下。
DUT为Device Under Test的缩写,指测量对象。高增益放大器会自动调整增益,使通过电阻R的电流与通过DUT的电流相等,DUT 的低电位侧(图中L一侧)一直处于虚拟接地(电位=0)状态。此时的输入电压E1及输出电压E2能测出相位角,如下所示。
E1=|E1|∠θ1=|E1|cosθ1+j|E1|sinθ1
E2=|E2|∠θ2=|E2|cosθ2+j|E2|sinθ2
通过这些数据与反馈电阻R,求出DUT的阻抗Zx。
Zx=R・E1/E2
=R・|E1/E2|・{cos(θ1-θ2)+jsin(θ1-θ2)}
其实部为Rx、虚部为Xx,求得的Xx通过Xx=j/ωCx可以计算出DUT的静电容量Cx。
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